DTL是一個低成本實現(xiàn)高分辨率的曝光技術,它可以實現(xiàn)非接觸、低缺陷、大面積、無拼接的曝光。
歐亞私募股權公司 AGIC 資本于當?shù)貢r間 7 月 5 日宣布,AGIC 已投資專業(yè)非接觸式納米紫外光刻設備和技術服務提供商 Eulitha AG,具體投資金額暫未披露。
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